清江苏吴县人，原名恕，字元龙，一字砚溪。康熙三十年进士。任密云县知县。适大军北讨噶尔丹，军需紧迫，书生艰于应付，忧急而死。少从父惠有声(明岁贡生)治经学，又受业于徐枋、汪琬，工诗文，后乃专心治经。其子士奇、孙栋均以经学著名。周惕遂为惠氏经学之祖。有《易传》、《春秋问》、《三礼问》、《诗说》、《砚溪先生遗稿》。

潆沙漱鲜泻河津，素绠青筒晓汲新。声动竹炉群壑雨，味倾瓷碗五湖春。

径劳车马山如市，井集琴尊石欲粼。独有东山明月上，夜深相印赏心人。

柳塘春暖草初生，绿遍江干万里程。彷佛西堂来梦寐，分明南浦带离情。

晴连碧汉看无异，翠落苍波染不成。吟得惠连诗句好，秋风台畔寄难兄。

忆求无何乡，了在赤谷村。仙人居其中，将往问村存。
日入濛汜宿，石烟抱山门。明月久不下，半峰照啼猿。
堂上白鹤翁，神清心无烦。斋心侍席前，跪请长生恩。
云昔崆峒老，何词受轩辕。从星使变化，任日张乾坤。
若到旧乡里，宛如曾讨论。风移岩花气，珠贯金经言。
凉夜惜易尽，青烟谢晨喧。自唯腥膻体，难久留其藩。
几世身在梦，百年云无根。悠悠竟何事，愚智相忧冤。
叹息几晚寤，蒙师招其魂。至今瑶华心，每想清水源。