清江苏吴县人，原名恕，字元龙，一字砚溪。康熙三十年进士。任密云县知县。适大军北讨噶尔丹，军需紧迫，书生艰于应付，忧急而死。少从父惠有声(明岁贡生)治经学，又受业于徐枋、汪琬，工诗文，后乃专心治经。其子士奇、孙栋均以经学著名。周惕遂为惠氏经学之祖。有《易传》、《春秋问》、《三礼问》、《诗说》、《砚溪先生遗稿》。

落月窥瓮牖，殷勤唤人醒。
蓐食治野装。行行向郊坰。
林端横宿霭，未放群山青。
藕花断复续，莫辨浦与汀。
初闻露花香，一洗廛市腥。
清景竟难挽，晨光著邮亭。
留眼数天际，尚余三四星。
车尘驾暑气，白汗如翻瓶。
凉燠一机耳，愠喜谁使令。
泠然解其会，冰壶在中扃。

寒天仍远去，离寺雪霏霏。古迹曾重到，生涯不暂归。
坐禅山店暝，补衲夜灯微。巡礼何时住，相逢的是稀。

佛说一乘法，无二亦无三。
山花开似锦，澖水湛如蓝。
支提遮里，无法可说，
赢得口似匾担。